ASML宣布:2024年DUV光刻机将稳定运行。
ASML积累! 2024年稳定**DUV光刻机!
众所周知,2024年才刚刚开始,ASML已经宣布取消两款NXT光刻机2050 i和NXT的许可证:这是ASML的一项措施"将对少数用户产生影响"。
他们立刻意识到,这两款尖端光刻设备在中国大陆是绝对没有的,这将对中国大陆高端技术的发展产生一定的影响。
鉴于美国颁布的限制措施,即2019年禁止极紫外光刻,2023年禁止先进深紫外光刻,这一措施是专门针对中国的。
据业内专家介绍,理论上可以使用193nm深紫外光刻技术(在水中产生134nm折射率)制造出5nm工艺的芯片,并使用多路复用**等方法制造7nm工艺的芯片。
中国官方的光刻技术仍然在90纳米,而中国已经达到了7纳米以上,因此深紫外光刻技术的应用尤为重要。
但原则上,如果ASML在2023年保持中心化,我们可以肯定,在2024年,也就是三到五年内,我们不会完全放弃它。
首先,得益于ASML的工作和各方的善意,原定于2023年9月1日取消的许可证现已延长25%。
其次,只有NXT:2050 I和NXT:2100 I已经停产,ASML目前除了NXT:1980 i之外,还有NXT:2000 DI,共有四台DUV浸没式光刻机在运行。
下面的**显示,除了存储容量外,所有四台机器都具有相同的分辨率,因此它们都可以实现7nm工艺,理论上也可以实现5nm工艺。
第三,在 2023 年,ASML 将成为关注的焦点,因为它将像实施禁令之前一样"加速"其光刻工艺满足了中国消费者的需求。
2022年,中国从美国ASML公司购买了约100套光刻设备,总价值约120亿元人民币。
2023年1月至11月,中国从ASML购买了200多台光刻设备。 中国从ASML进口设备200余台,总价值超过500亿元,比去年同期增长三倍。
ASML还表示,2023年将无法完成所有来自中国的订单,现在ASML已将大部分光刻生产转移给中国客户,是否需要更多订单?
要知道,光刻原料全球紧缺,各大厂商都在等着买,ASML也不例外,要满足中国用户的需求并不容易。
所以,多亏了ASML的工作,我们可以有信心,DUV浸没式光刻机不会在2024年用完,这是因为我们在过去一年中购买了多台深紫外浸没式光刻机,并且仍在销售DUV浸没式光刻设备,这些设备将持续使用数年,没有任何后顾之忧。
此外,从硅片开发的角度来看,硅片的"工艺"它也不是无限的。 从理论上讲,28nm技术不能再增加线宽,5nm并不意味着最小线宽已经达到5nm,只是可以实现架构和工艺的改进"与5nm相同的能效"。5nm 并不意味着最小线宽小于 5nm,而只是可以实现架构和工艺改进"与5nm相同的能效"。5 nm 并不意味着最小线宽小于 5 nm,而只是可以实现架构和工艺改进"与 5 nm 相同的能效"。
随着我们不断改进设备的设计、架构和封装,我们已做好充分准备,通过深紫外光刻实现 3nm 以下工艺,因此无需着急。
此外,随着科学技术的进步,除了光刻,还有纳米印刷、电子束光刻、数字减法等,这些都是世界上最先进的技术,也许这个禁令会让中国选择另一条路。