2024年,ASML令人满意! 浸没式 DUV 光刻机就足够了**。
众所周知,在2024年初,ASML已经宣布了其两款光刻产品的许可,“这将对少数用户产生影响”。
因此,人们立即认为,中国大陆不可能获得这两台尖端光刻机,这将对中国大陆高科技制造工艺的发展产生影响。
考虑到美国对中国实施了一系列限制,例如2019年禁止EUV光刻,然后在2023年禁止高档浸没式光刻。
据业内人士介绍,浸没式深紫外光刻采用193nm光源,经水折射,波长达到134nm; 芯片可以使用多次**等方法用 7nm 工艺制造,理论上也可以采用 5nm 工艺。
目前国内的光刻技术还停留在90nm,而我们目前的技术可以做到7nm以上的工艺,而这台浸没式深紫外光刻机是必不可少的。
不过,从理论上讲,到2024年,就算是3到5年,我们也不会缺少浸没式深紫外光刻机,因为ASML的吸引力还是很大的,2024年也不会缺。
原因之一是,由于ASML的努力以及某些部门的善意,原定于2023年9月1日吊销的许可证被推迟了四分之一。
其次,只有两款产品,NXT2050i和NXT:2100 i,ASML有4台光刻机,加上NXT:2000 i,NXT:1980 DI,它们已经上市。
下面的**显示,这四台光刻机具有相同的分辨率,只是它们的功能不同,所以实际上它们都是7纳米,或者理论上是5纳米。
第三,2023年对于ASML来说是一个有趣的时期,为了在禁令实施之前尽可能满足中国大陆用户的需求,并努力带来光刻机"冲在前面"。
这两个数字让你对2023年的情况有一个直观的了解:中国从ASML进口了约100台光刻机,总价值高达25亿欧元。
2023年1-11月,中国从ASML购买了200多台,总价值500亿元,比去年同期增长了3倍。
ASML还表示,到2023年,他们将向中国客户提供大量订单,从这个估计来看,ASML已经将大部分光刻机产能集中在中国客户身上,这样就足够了。
但他们不知道光刻机的初次质量不稳定,各大厂商都在排长队,所以ASML将产能转移给中国客户。
所以,到2024年,我们已经拥有了足够的水下深紫外光刻机,高端光刻机去年已经买好了,剩下的都比较便宜,足够支撑我们几年了。
而且,在芯片开发方面,"工艺"它不是无穷无尽的,28nm的线宽基本上是极限,5nm不是指5nm,而是通过结构和工艺的改进,实现了"5 nm"能效。
在此基础上,通过器件设计、结构和封装的改进,我们可以完全实现采用深紫外光刻技术在3nm以下的工艺,从长远来看,我们并不着急。
而且,随着技术的进步,除了光刻之外,还有纳米印刷、电子束光刻、数字减法(DSA)等,这些都是世界上最先进的技术,也许这个禁令会把中国带向相反的方向。