金健提供页岩样品的氩离子抛光切割服务（离子抛光CP）+高分辨率场发射扫描电子显微镜SEM观察。 金剑实验室的氩离子抛光（CP法抛光）可以获得光滑的截面，而不会对样品造成机械损伤。 下面是一个案例研究。
平面蚀刻和抛光功能。
左图显示了机械研磨和抛光对样品造成的应力损伤可以通过离子研磨去除，从右图可以清楚地看到两种不同铜的结构。
平面蚀刻和抛光功能。
通过控制平面研磨时间，可以获得有关样品的更详细的信息。
package fa
results of experiment
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 600x imaging mode: back-scattered electron
package：fa ，cooling stage
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 2,500x imaging mode: back-scattered electron
package：fa ，cooling stage
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 5,000x imaging mode: back-scattered electron
package：fa ，cooling stage
sem parameter：
accelerating voltage: 1kv magnification: 10,000x imaging mode: back-scattered electron
package：fa；cooling stage
pcb board：cooling stage
die package application
results
high mag
pcb with osp layer
low mag
pcb with osp layer
high mag
tsvcentral tsv
center tsv near middle of length
low k material
离散器件。 high mag
high mag
cu wire with pdcoating
2.5d interposer
gatanresults polished width at roi ~ 1000um
high mag
bse image “left via”
se image region 9 bse image region #
bse image region #
bse image “right via”
金属镀层。 镀锌钢板。
镀锌钢板 - 高磁