ASML末日狂欢EUV光刻机或将难以拥有下一代产品,前景令人担忧

小夏 科技 更新 2024-02-26

ASML末日狂欢:EUV光刻机或许难以拥有下一代产品,前景令人担忧。

2023年对ASML来说是疯狂的一年,光刻机销售额为276亿欧元,同比增长30%,净利润为78亿欧元,同比增长43%,毛利率为513%。

2023年,ASML销售EUV光刻机53台,浸没式DUV光刻机125台,普通干式DUV光刻机32台,KRIF光刻机184台,L-Line光刻机55台,各类型光刻机销量均超过2022年。

而对于2024年,ASML并不乐观,称其预期与2023年大致相同。

事实上,2024 年应该是 ASML 大幅增长的一年,那么为什么不更多呢? 究其原因,ASML的EUV光刻技术已经到了极限,很难拥有下一代,前进的道路被堵住了。

目前,ASML最大的收入**实际上是EUV光刻机。 以 2023 年为例,53 台 EUV 光刻机,每台价值约 18亿元,贡献近100亿元,占三分之一。

目前销售的主要EUV光刻机为NA=033 台机器。 Na 也称为数值孔径,也称为低 Na 系统,因为 033 是一个低数值孔径。

光刻机能够实现 26 纳米的最小金属间距和 25-30 纳米的端到端近似互连空间间距,理想情况下能够制造 3 纳米晶圆。

na=0.55光刻技术具有更大的数值孔径(称为HiGT-NA系统),可实现16纳米的最小金属间距,从而实现亚2纳米甚至1纳米的工艺节点。

但是,这台光刻机的 na=055、成本高,达到38亿元,比上一代**翻了一番,同时,ASML表示,目前的产能还很差,一年只能生产不到10台,所以ASML对此并不是特别看好,毕竟目前的光刻机033Na,也可以生产2nm芯片。

只有2家3nm芯片厂,原来的EUV光刻机都不会被淘汰,现在NA=055的光刻机肯定卖得不是特别好,所以对2024年不是很看好,如果能保持2023年的营收就好了。

事实上,ASML最大的问题还没有到来,因为当NA增加到0时在55时,数值孔径达到极限,无法进一步增加。

至于其他提高紫外光刻分辨率的方向,如降低光源波长、提高光刻工艺系数等,基本已经达到极限,短期内无法改进。

因此,去年,ASML负责该技术的联席CEO表示,ASML很难在EUV光刻技术上取得任何进展,即NA=055 的 EUV 光刻可能是最后一代,将于 2024 年退役。

因此,当EUV光刻机无法再升级时,ASML就在那里"计算日期"也许现在可以卖掉,但未来呢?

当然,也有人认为,或许EUV光刻技术还能往前走,只是目前看不清方向,但缺乏方向是企业最大的不确定性,没有确定就没有未来,企业该怎么办?

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