光刻机概念。
光刻机又称掩模对位机、第一系统、光刻系统等,是制造芯片的核心设备。 它使用类似于印刷的技术,通过光线将掩模上的精细图形打印到硅晶圆上。
光刻机的类型可分为:接触式**、接近式**、投影式**。 光刻机的工作原理是通过一系列光源能量和形状控制装置,将光束通过带有电路图的掩模传输。
光刻机概述读趋势。
表:光刻机的历史。
目前国内光刻机技术最先进的是上海微电子设备),量产光刻机性能最好的是可用于加工90nm芯片的光刻机,与国外技术差距较大。
2008年,32-22NMEUV光刻技术被列为重要研究任务,2016年11月,长春光学机械研究所牵头的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利完成验收前的现场测试,初步建立了加工、 适合极紫外光刻光学系统开发的测试、镀膜和系统集成平台,为我国光刻技术的可持续发展奠定了坚实的基础。
中国目前拥有90纳米光刻机,下一步技术是45纳米。 此外,光刻机用固态深紫外光源、电子束直写光刻机、纳米压印设备、极紫外光刻机技术也在开发中。
相应的升级版光刻胶、第三代折射液等也在相应开发中。 光刻机工件工作台是光刻机技术的难点之一,我国在这一领域取得了重大突破。
然而,我国仍需在激光光源和反射镜组方面取得突破,这也是我国光刻机领域瓶颈困境的关键。
关注列表。
1. 张江高新技术(SH600895)。
现购: 2242、总市值:34722亿。
主营业务:航天航母建造、招商引资、产业投资。
核心竞争力:具有可持续物理空间的优势。
2. 旭光电子 (SH600353).
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主营业务:金属陶瓷电真空装置。
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3.惠创达(SZ300909)。
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主营业务:研发、设计、生产、销售导光结构件、精密关键开关结构件及零部件。
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4. 中国航空电子 (SZ300114).
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主营业务:相关仪器制造。
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5.华亚智能(SZ003043)。
现价: 4020、总市值:3216亿。
主营业务:精密金属制造 热机计划 核心竞争力:提供专业的精密金属制造解决方案。
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