真空泵数据采集远程监控系统解决方案

小夏 科技 更新 2024-03-05

行业背景。

半导体制造可以说是现代电子工业的核心产业,广泛应用于计算机、通讯、汽车、医疗等领域。 在半导体生产加工过程中,如蚀刻、镀膜、扩散、沉积、退火、蚀刻等,真空泵是必不可少的关键设备,它可以构建稳定可控的真空环境,避免产品污染、氧化或其他缺陷,对半导体产品的质量、寿命和性能有不可忽视的影响。

为保证真空泵的安全稳定运行,梧通博联提供基于工业智能网关的数据采集远程监控系统,实现对真空泵运行状态和工艺参数的最佳监控和预警,帮助工厂及时采取措施,确保生产安全和产品质量。

行业痛点。 数据采集难度大:真空泵通常分布在生产现场或远程位置,传统的人工数据采集方式需要现场人工复制数据,工作量大,因此需要采集数据才能实现远程监控。

故障预警挑战:真空泵运行的故障不能及时察觉,一旦发生故障,会影响生产的稳定性和安全性,同时造成物料浪费,因此需要故障预警和报警机制。

数据应用问题:真空泵产生的数据包括压力、温度、振动等各种参数,需要实时处理和分析,需要数据上报和分析渠道,实现提质增效、节能优化等。

溶液。 半导体行业正在逐步实现自动化生产,真空泵通过PLC自动控制已经得到广泛应用,因此只需要将梧通博联工业智能网关连接到PLC,PLC中真空泵的工作参数(压力、温度、振动等)就可以实时采集,并通过5G 4G WiFi以太网上传到云平台或本地上位机, 等,从而实现设备的远程监控、故障报警、远程控制和远程维护等功能。

通过手机和电脑,工厂可以远程查看工艺配置画面,了解每台真空泵的运行状态、工艺参数、故障信息、运行维护记录,从而实现及时的管控,维护安全稳定的生产秩序。

系统特点。 1、数据采集:系统可实时采集真空泵的运行状态数据,如压力、温度、振动等,并生成可视化图表,快速查询实时数据和历史数据。

2、配置监控:系统可自定义云端配置,查看各台真空泵的工作状态和参数变化,支持自定义编辑,拖拽添加和删除控件,操作简单易懂。

3、远程监控:通过手机或电脑等智能终端,用户可以随时随地查看真空泵的实时运行状态和历史数据,提高了设备的管理效率和生产效率。

4、异常处理:当真空泵出现异常情况时,系统会自动报警并记录异常信息,方便用户快速发现和解决问题,减少生产损失和物料浪费。

5、远程维护:工程师可以远程对远程PLC进行编程调试,远程上传最佳方案,减少出差和费用,提高工作效率和售后服务质量。

6、数据分析:根据对采集到的数据进行分析处理,可以了解设备的性能和能耗水平,并采取措施优化管理,提高生产效率。

系统优势。 通过真空泵的实时监控和故障报警,可以对半导体芯片生成过程的真空环境进行精细控制,保证过程中的参数稳定正常,可以保证企业能够提高设备的效率和可靠性,减少停机时间和维护时间, 为企业带来更多的经济效益。

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