长期图像采集和连续探头测量需要稳定的微振动分辨率设备。 同时,一些高分辨率显微镜还需要配备微振动解决方案设备,以获得清晰的图像。 SANSI THA 系列主动减震器在所有六个自由度方向上都具有非常好的减振性能,为纳米测量提供了有效的解决方案。
为AFM和SEM开发的高端主动减震器主要应用于一些对微振动敏感的高端测试设备。
在被动隔振系统的坚实基础上,主动隔振系统巧妙地嵌入了振动传感器和执行机构,仿佛赋予了它敏锐的感知和控制能力。 振动传感器随时监测工作台的振动,执行器对振动做出快速反应。 这种感知和反馈机制对振动产生了强大的屏障。
控制系统接收来自振动传感器的反馈,快速分析并做出决策。 通过沿振动方向对台面施加力,可以巧妙地抵消振动并稳定平台。
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