蔡司SEM电子显微镜EVO MA 15用于材料领域，LS 15用于生命科学领域。 该系列电磁镜具有具有多个接口的大型样品室和最先进的物镜设计，提供高真空和低真空成像功能，分析各种材料表面和 X 射线分析技术。
蔡司扫描电子显微镜（SEM）广泛应用于金属材料（钢铁、冶金、有色金属、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）的检测和研究。 在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化工材料等领域，材料的显微形貌、结构和成分分析，各种材料的形貌和结构观察，材料的断裂分析和失效分析，材料的实时微观成分分析，元素的定量和定性成分分析，快速多元素表面扫描和线扫描分布测量，晶体和晶粒的物相识别，晶粒尺寸和形状的分析，以及晶体和晶粒取向的测量。
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蔡司SEM电子显微镜技术参数
1.分辨率：20nm@30kv(se with lab6 option) 3.0nm@30kv(se and w) 4.5nm@30kv(vp with bsd)
2.加速电压：02—30kv
3.放大倍率：5-1000000x
4.视场角：6mm
5、X射线参数：85mm WD，35度接收角度。
6、压力范围：10-400PA（LS15：10-3000PA）。
7.演播室：365mm（）275mm（h）。
轴优化自动采样台：x=125mm，y=125mm，z=50mm，t=0-90°r=360°
9、试样高度：145mm，试样直径：250mm
10.系统控制：基于Windows XP的SmartSEM
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