科晶科学仪器12寸近距离旋转蒸发镀膜炉

产品概述：

RTP-I-CSS-300是一款12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉，配备4500mm高真空不锈钢腔体，可用于蒸发或CSS（近间隔升华）镀膜实验、氧化物、半导体或太阳能衬底退火实验，载物台尺寸为300，顶部载物台可旋转，提高镀膜均匀性。

该高温炉的加热元件为两组红外灯（位于顶部和底部），最大加热速率为20 s产品特点：

样品台的最大尺寸为 300 ·样品台上端可旋转上下移动 • 采用分子泵，炉腔真空度可达10-3Pa 基本参数：

输入电源交流三相380V 50 60H，最大功率：64kW • 最高工作温度：950（30min），长期工作温度：900C • 两个热电偶：两个K型热电偶，一个用于上加热台进行测控，一个用于下加热台进行测控 • 加热元件：红外线灯 • 可加载样品的最大尺寸： 300mm • 推荐升温速率：10 s 温控系统：

包括EPC300系列欧陆式温控器PID自动温控系统，智能30段可编程控制，默认DB9 PC通讯连接端口，温控精度：01 （最多） • 所有电气元件均通过UL或MET认证，可通过全球其他相关安全测试 • 可选配PC温控软件，控制温升曲线并导出数据