英特尔购买 EUV 高数值孔径工具

小夏 科技 更新 2024-01-30

英特尔是首批采用 EUV 高数值孔径工艺(如高 NAP)采购新芯片制造工具的处理器制造商之一。

ASML(先进半导体材料光刻)技术对于使用超小型光刻技术生产下一代硅至关重要。

到目前为止,英特尔已经从 ASML 购买了一台 Twinscan EXE:5000 扫描仪,该扫描仪将数值孔径从 0 更改为33 比 055,并打算用它来研究优化2纳米芯片商业化生产的方法。 到 2024 年,该公司将再购买 6 台 Twinscan Exe:5200,到 2025 年底,总台数将达到 20 台

在竞争中领先一步

根据Pat Gelsinger的说法,其芯片的光刻还原正在如火如荼地进行,Intel 3工艺已经投入生产,Intel 20A已准备好开始批量生产。 反过来,18a工艺应该在2024年第一季度送到代工厂,预计到2024年,英特尔在制造2nm以下芯片方面将领先于台积电和三星。

尽早获得ASML技术对于以这种方式在市场上定位至关重要,因为该公司是为数不多的生产EUV高数值孔径工艺所需工具的公司之一。

除了英特尔已经购买的六台Twinscan EXE 5200外,ASML预计到2024年将只生产四台,这将在三星、台积电、SK海力士和美光之间竞争

“我们很高兴也很自豪能够为英特尔提供我们的第一个高数值孔径EUV系统,”ASML表示。 ”

每台新机器将耗资超过3亿美元,预计将帮助计算机芯片制造商生产更小、更快的半导体。 它们可能会从2024年或2024年开始用于商业芯片生产。

英特尔于 2022 年订购了第一台高数值孔径试验机。 其他订购机器的芯片制造商包括台积电、三星、SK海力士和美光。

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