目前,在芯片制造领域,光刻工艺是几乎所有晶圆厂都采用的工艺,尤其是在相对先进的工艺中,即全是光刻工艺。
在光刻工艺下,光刻机、蚀刻机是必不可少的,其中光刻机是最重要的,由于其门槛高、研发难度大、链条复杂,是所有芯片制造设备中设备最多的。
更何况,世界上只有四家厂家能够生产光刻机,只有ASML能够生产7nm及以下芯片的EUV光刻机。
可以说,任何一家光刻机厂都很难制造出EUV光刻机,ASML已经将所有的上下游都绑在了自己的军舰上。
因此,其他光刻机厂家,近年来基本上都绕过了EUV技术,寻找其他技术来实现与EUV光刻机相同的功能。
其中,有几种技术大家也非常熟悉,分别是NIL纳米压印技术、BLE电子束技术、X射线技术、DSA自生长技术。
这四种技术被认为是最有可能绕过EUV封锁,实现7nm及以下技术方向的技术。
其中,NIL纳米压印技术进步最快,日本光刻机制造商佳能几年前与SK海力士合作推出了用于存储芯片的NIL纳米压印机,但它被用于65nm这样的工艺。
而去年,佳能发布了最新的纳米压印半导体器件FPA-1200NZ2C,称它可以用于制造5nm芯片,而无需使用EUV。
近日,佳能再次表示,这款纳米压印机FPA-1200NZ2C将于今年量产,这款纳米压印机的成本仅为EUV的10%左右,功耗仅为EUV技术的10%。
同时,使用纳米压印机后,其配套设备,与EUV配套设备相比,降低了40%。
佳能还表示,该设备未来将继续升级,到2026年,有望用于制造2nm芯片,完全绕过EUV光刻机解决方案。
当然,由于这款纳米压印机FPA-1200NZ2C还没有完全量产,不知道佳能是在吹牛,还是真的好。
同时,有业内人士表示,纳米压印技术的良率估计低于EUV,产能和效率将远低于EUV解决方案,因此不太适合大规模芯片制造行业,更适合小批量芯片生产。
然而,不可否认的是,如果佳能的技术完全量产,将对EUV光刻机产生巨大影响,成为真正的颠覆者。
因为禁令,我们目前肯定买不到,但至少也给了我们一个新的学习方向,也许接下来,我们不必死在EUV技术上,你怎么看?