前段时间有报道称,英特尔已经获得了ASML最新的2nm芯片EUV光刻机。
这种EUV光刻机型号称为EXE:5200,与之前的EUV光刻机相比,最大的变化是数值孔径NA,从033,成为当前的 055。
新的EUV光刻机称为高数值孔径系统,而以前的光刻机称为低数值孔径系统。
ASML之前曾说过,当NA提升到0时55岁以后,现在基本不可能改进,所以ASML认为,这台光刻机可能是最后一代EUV光刻机,ASML本身对未来能否改进没有信心。
这种光刻机可用于制造2nm及以下的芯片,因为NA越高,分辨率越高,工艺越低,据说至少可以实现1nm以下芯片的制造。
这个 na=0重达150吨(150,000公斤)的55光刻机在运输时需要250个集装箱箱,同时,拆卸运输到目的地后,需要250名工人进行6个月(180天)的安装调试才能完全安装。
目前,台积电和三星已经实现了3nm工艺,按照计划,两家晶圆厂将在2025年实现2nm工艺,而英特尔则表示将在2024年实现2nm工艺。
因此,毫无疑问,这款新一代EUV光刻机将再次被几大晶圆厂抢购,因为大家都想在2nm时间抢占先机,抢占更多产能,成为晶圆制造的老大。
所以最近,ASML表示,它已经收到了来自几个主要客户的新型EUV光刻机的订单,数量约为20台。 未来,它的目标是每年能够生产 20 台这样的光刻系统。
而这种光刻机,一个**大约是38亿美元,20个单位是76亿美元,也就是540亿元人民币。 而上一代EUV光刻机只有1台约8亿美元。
与上一代光刻机相比,每台高出2亿美元,20台为40亿美元,相当于290亿元人民币。
2017年,美国就明确禁止ASML向中国大陆出售EUV光刻机,即使是最老的EUV光刻机也不能卖给中国大陆,所以无论ASML技术多么先进,我们都要靠自己,独立做出来......