ASML最新推出的EUV光刻机，价值27亿元，重量150吨

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ASML最新推出的EUV光刻机问世：价值27亿元，重150吨，需要250人180天才能安装。

众所周知，ASML是世界上唯一一家有能力制造极紫外光刻技术的公司。

ASML推出的光刻机都是0中的尺寸33台左右的光刻设备，即小口径的光刻机，称为小尺寸光刻机。

而低于 3 nm，即 2 nm、1在 4 nm 和 1 nm 处，使用高数字孔径光刻设备，即 na=055，对应于 exe：5200。

不久前，ASML为英特尔提供了世界上第一款名为EXE：5200的高数字孔径光刻设备。

这是什么可怕的设备？ 首先，它达到了3.5亿欧元。 它的大小与普通公共汽车差不多，总质量为150吨。

这种光刻设备组装完成后是无法携带的，需要拆解成零件并发送给用户才能组装。

运输过程中共使用了250个集装箱，运输过程中动员了250名工程师，又花了六个月的时间组装和调试所有部件。

结果，ASML将世界上第一台EUV光刻机卖给了英特尔，但那只是第一次送到英特尔，距离实际投入使用还有六个月的时间。

根据英特尔的计划，2纳米工艺至少要到2025年才能投入使用。

ASML的CEO曾经说过，这个数字的口径将是055 或更多一段时间，因为 ASML 不再足以满足当前的需求。

如今，EUV光刻机有三种主要方法可以提高其分辨率，第一种是降低发光波长，但是，在135 nm，这是它的最大极限，不可能继续下降。 二是增加数值口径，但这一步卡在那里，ASML告诉他，这个数值口径已经达到上限，不能增加。

另一个是提高光刻效率，但现在技术已经到了生理学的极致，没有办法再往前走了。

短期内，三方均已死，说明EUV的精度不能再进一步提升，未来EUV将何去何从？没人知道。

那么，佳能的NIL等产品未来能否取代EUV光刻机，走上世界发展之路呢？