产品概述。
JKZC-DN系列探针台是我公司一款增强型晶圆测试探针台,可完成最大12英寸晶圆的电气测试。 该系列探针台采用高刚性显微镜龙门结构,可在x-y-z方向上精确调节显微镜。 卡盘具有上下调节功能,可快速将探针与样品分离,提高测试效率,已广泛应用于科研单位和半导体工厂。 这些探针台可用于测试超过 1 m 的焊盘电极。
技术特点: 显微镜采用高刚性龙门支架,并配备气动升降,确保高质量的光学成像
卡盘具有快速和精细的调整功能,可快速分离样品和探针,也可以装载探针卡
可升级,卡盘可升级360度快速移动,光电流扫描成像或拉曼瞬态荧光寿命成像系统可升级。
详细参数。
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