JKZC DCHH系列高低温真空探针台

产品概述。 JKZC-DCHH系列高低温真空探针台是我公司自主研发的用于在极端环境下将电信号加载到样品上的装置。 可实现器件和材料表征的IV CV表征测试、射频测试、光电测试等。 使用液氮或压缩机制冷可在辐射屏蔽层内创造稳定的测试环境。 广泛应用于特种材料、半导体器件等研究方向。

极低温测试：因为当晶圆在低温大气环境中进行测试时，空气中的水蒸气会凝结在晶圆上，从而导致泄漏过多或探头无法接触电极，导致测试失败。 为避免这种情况，有必要在测试前将真空室中的水蒸气抽出，并在整个测试过程中保持泵的运行。

高温非氧化试验：当晶圆加热到300°C、400°C、500°C甚至更高的温度时，氧化现象会越来越明显，温度越高，氧化越严重。 过度氧化会导致晶圆的电气误差和物理机械变形。 这需要在测试之前将氧气从真空室中抽出，并在整个测试过程中保持泵的运行。

技术特点： 辐射屏蔽和散热片设计;

冷却速度快，常温降至77k<25mins，大大提高了测试效率

液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块连接在一起，控制温度。

详细参数。