半导体级臭氧设备量产即将加速国产替代

国林科技（300786）作为国内领先的大型臭氧系统设备，深圳）掌握了臭氧系统设备的全套核心技术，产品涵盖全系列臭氧发生器及其系统设备，广泛应用于市政供水、工业废水、烟气脱硝、市政污水、空间消毒等领域。

根据年报信息，近年来，国林科技围绕臭氧工艺积极开展下游多元化延伸，致力于打造臭氧领域综合解决方案提供商。 在医疗健康领域，其子公司国林健康已成功研发出电解水臭氧发生器，部分保健品上市进展顺利在半导体领域，公司系列产品已成功通过多家下游头部客户验证同时，乙醛酸业务即将进入正式生产阶段，市场拓展也在顺利进行。

在半导体领域，国林科技近5年不断研发，已成功生产出高浓度臭氧水发生器和高浓度臭氧气体发生器两款产品，分别应用于半导体清洗和薄膜沉积。 公开资料显示，目前我国半导体臭氧设备市场主要由美国MKS、德国Ansoros等海外厂商占据，国内尚无量产企业。 据公开披露，国林科技生产的半导体臭氧水发生器臭氧水浓度可达80-150ppm，臭氧气体发生器出口浓度可达200-300mg L，可满足半导体技术需求。

据公司公开通报，国林科技半导体专用臭氧设备已于2024年下半年发往下游半导体清洗设备、薄膜沉积设备头部企业及部分面板厂，目前产品正在顺利验证中，预计2024年小批量供货。 半导体级臭氧设备的国产替代工艺可期。