陶瓷机械臂

陶瓷机械臂

1.半导体加工简介。

半导体产品要求非常清洁和无污染。 在半导体产品的生产中，对环境的要求非常高，一般在要求严格的无尘车间进行，生产人员必须穿防静电服。

半导体产品是非常精密的产品，有些产品是超薄的，只有零点几毫米，甚至更薄，所以需要小心处理。 在加工和各种处理中，对各种夹紧工具、夹紧工具和与半导体零件接触的器皿都有很高的要求，主要是不污染半导体零件，同时，这些夹具和夹具还必须能够经受各种酸、碱和热处理的考验，这样才能经久耐用。

2.半导体用陶瓷机械手的介绍。

机械臂材质：一般采用99氧化铝陶瓷。

陶瓷机械臂的名称由来：陶瓷机械臂用于抓取和夹紧半导体零件，就像一只手一样。 它采用扁平臂和手掌设计，因此被称为机械臂。

陶瓷机械手的结构和作用：机械手内有气孔和通风槽，抽气时能形成真空，从而吸附半导体零件，从而实现轻接触，不夹紧，不损坏半导体零件的薄片。

3.与金属臂相比，用陶瓷臂夹紧半导体零件的优点：

1.陶瓷机械臂比金属臂更耐酸腐蚀和碱腐蚀。 在半导体的各种加工中使用寿命更长;

2、陶瓷机械手不易与其他物质发生反应，不会在接触件上留下污染的细小颗粒和带电荷，不会产生金属离子，不会污染半导体零件

3、半导体热处理时，陶瓷机械手受热变形较小，减少了半导体零件在热处理过程中的变形

陶瓷机械臂是一种可以承受高温的无损伤传动臂。 此外，还可以在陶瓷表面涂覆DLC（类金刚石碳）等涂层，以改善功能性，例如减轻对滑动配合材料的损坏并防止杂质扩散。 （上图**：AST）。

用于洁净室的水平关节机器人。

可正后（x轴）、旋转（轴）、上下（z轴）+手动旋转（0 180°）操作，支持晶圆在大气中转移。 驱动电机是交流伺服电机，所有轴均采用绝对编码器规格。 （*Fico Semiconductor***.）