芯片是科技界的瑰宝,其重要性不言而喻。 经过几十年的发展,我们成熟的工艺芯片已经取得了长足的进步,所以不用担心。 然而,高端工艺芯片的发展仍需不断努力。 为什么?其中一个关键因素是光刻机。 作为芯片制造过程中不可缺少的核心设备,它在芯片生产中起着至关重要的作用。
但是,上海微电子的光刻机制造水平有待提高。 目前,我们主要依赖进口。 全球光刻机市场由荷兰ASML主导,这种情况一直持续到今天。 然而,最近情况发生了变化。 尼康和佳能宣布,光刻机市场的格局正在发生变化!
自半导体行业出现以来,光刻机行业经历了许多变化。 当时,领先的光刻机巨头是一家美国公司,但后来被日本的“光刻机二人组”尼康和佳能超越,成为新的光刻机巨头。 随后,ASML凭借浸没式光刻技术一举成名,成为光刻机领域的霸主。
虽然美国公司已经退出光刻机领域,但他们从未放弃干涉。 在美国公司被日本的尼康和佳能超越后,美国打算支持ASML,并将日本公司排除在EUV技术之外。 现在,光刻机市场的变化已经进入了一个新的阶段,我们可以拭目以待。 当英特尔领导创建EUV技术组织时,ASML和尼康都渴望加入该组织,分享这项先进技术。 然而,美国驳回了尼康的申请,并让ASML独家使用该技术。 这种做法导致日本光刻机企业倒闭,与ASML的差距越来越大。
然而,这也让ASML长期被美方束缚。 虽然已经承诺在美国建立研发中心和工厂,但每年都会接受美国的检查,并且一定比例的设备会从美国公司进口,因此ASML的光刻机出货量受到美国的限制。
正是出于这个原因,2024年,中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机,美方成功阻止了它的到来。 今天,美方甚至开始限制ASML的浸入式DUV。
当然,ASML对此非常不满。 毕竟,这是金钱和时间的巨大损失。 尽管ASML拥有美国EUV技术的独家使用权,但ASML继续在研发方面投入巨资,最终将该技术转变为可量产的光刻机。 近年来,全球晶圆厂的扩张速度有所放缓,但中国大陆市场一直在稳步扩张。 ASML对此绝不能掉以轻心,毕竟内地市场对他们来说是不可或缺的一块蛋糕。 即使面对美国不断升级的出口管制,即使美国、日本和荷兰已经达成合作协议,荷兰也明确表示将实施出口管制,ASML仍在努力向中国销售产品,第三季度来自大陆的收入已达到46%。 为什么ASML如此努力?一方面,中国大陆一直在努力攻克高端光刻机的技术瓶颈,而华为麒麟芯片的回归,意味着大陆芯片产业链有了新的突破,或许上海微电子取得了显著的科研成果。 另一方面,ASML的竞争对手尼康和佳能也不甘落后,也在争先恐后地抢占大陆市场。 第一个是佳能。
100支持计划 虽然佳能一直以生产低端光刻机为主,虽然出货量大,但总量相对较小。 然而,佳能并没有放弃超越ASML的追求,而是走上了另一条道路——开发NIL纳米压印技术。 这是一种很有前途的新型光刻技术,有别于ASML的传统光刻技术。 冷静的大象佳能终于迈出了决定性的一步,他们成功推出了一款采用NIL技术的光刻设备,引起了全球轩然。
这款器件的制造工艺已经达到了令人印象深刻的5nm,下一个目标是让同行惊叹不已,那就是2nm,目标就是ASML的EUV光刻机!而尼康则选择了一条独特的道路,依然坚持走传统光刻技术的道路,并坚持不懈地向前迈进。
他们在这个领域输给了ASML,但他们并没有气馁,而是专注于浸没式光刻。 最近,他们在这方面也取得了突破,开始向外界销售浸没式DUV光刻机。 虽然目前的出货量不算太大,但他们并没有放弃,而是投资了更大规模的工厂建设,旨在进一步开拓中国大陆市场。 而现在,尼康再次发起攻势,推出了更先进的ARF浸没式光刻机,准备与ASML竞争!
尼康一直看着ASML在大陆市场赚得盆满钵满,而由于日本的出口管制,它却陷入了业绩低迷。 这种情况让他们非常不满。 于是,他们也开始寻找机会向中国出口光刻机,希望在中国市场找到更多的发展空间。 这种精神值得我们深思。 日本佳能和尼康两大巨头看到了大陆市场日益增长的需求,果断行动。 这场光刻机争夺战引起了轩然,甚至有外媒预测:“光刻机逆袭加速!“但是,我们必须有一个清醒的认识,只要我们跨过国产光刻机的门槛,我们就可以彻底打破难题!