首先,基本原理。
薄膜压力传感器根据应变原理工作,通过测量薄膜的变形来计算压力值。 当薄膜受到外界压力时,它会变形,变形的大小与压力成正比。 通过测量这种变形,可以计算出相应的压力值。
2.精度计算方法。
1.线性误差。
线性误差是对传感器输出与理论输出之间偏差的描述。 它是传感器在整个测量范围内的最大误差与满量程输出的百分比表示。 计算公式如下:
线性误差 =(实际输出最大值 - 理论输出最大值) 理论输出最大值的 100%
其中,实际输出的最大值是指传感器在整个范围内实际输出的最大值; 最大理论输出是从传感器规格或设计参数得出的理论输出值。
2.非线性误差。
非线性误差描述了传感器的实际输出偏离理论直线的程度。 计算公式如下:
非线性误差 = 根数下的范围输出。
其中,x轴误差和y轴误差分别表示传感器实际输出在x轴和y轴方向上的偏差。
3.重复性误差。
重复性误差是指在相同条件下,同一输入引起的传感器多个输出之间的最大偏差。 计算公式如下:
重复性误差 = 测量输出的最大输出偏差。
最大输出偏差是在相同条件下多次测量的最大输出值和最小输出值之间的差值。
4.迟滞错误。
迟滞误差描述了在相同压力输入下传感器的正向和反向输出之间的最大偏差。 计算公式如下:
迟滞误差 =(正向输出 - 反向输出)量程输出的 100%
其中,正向输出是指传感器在压力升高时的输出值; 反向输出是压力降低时传感器的输出值。
5.温度误差。
温度误差是由于温度变化引起的传感器误差。 可以通过在恒定温度下校准传感器来减少它。 如果不能消除温度的影响,则可以计算温度误差范围。
3.提高准确性的措施。
1.采用高精度材料和制造工艺,减少初始误差和线性误差。
2.使用过程中定期进行校准,减少磨损、老化等因素造成的误差。
3.选择正确的信号处理电路和算法,以减少噪声和干扰对精度的影响。
4.传感器经过温度补偿,以减少温度对精度的影响。
5.在设计阶段,进行先期分析和实验验证,优化传感器结构和参数,提高其精度和稳定性。
6.使用过程中注意避免过载和冲击,防止对传感器造成不可逆转的损坏。