石英坩埚在熔化和拉晶过程中有时会发生破裂,破裂的原因如下。
1.熔化方法不当。
1)二次结晶。
当上层硅材料熔化后顺石英坩埚内壁流向底部时,由于底部温度低,常发生“二次”结晶,硅材料在“二次”结晶过程中膨胀,使石英坩埚膨胀开裂。
2)翻底后漏硅。
当上部熔融硅液顺锅壁流到坩埚底部时,底块与石英坩埚粘附在一起,当上部硅材料完全熔化成液体时,在块底形成浮力,当浮力大到足以将未熔化的块与粘附在其上的石英坩埚底部分离时, 坩埚经常会被打破。
2.熔体温度不合适
熔体温度过高会加剧坩埚结晶程度,增加破裂的可能性。
3.原材料问题
原料中杂质过多或原料清洗和填充过程中的污染会对石英坩埚产生侵蚀作用,严重时熔融硅会渗透到坩埚内层。
4.石墨坩埚问题
1)新型石墨坩埚的煅烧不够彻底,无法投入使用,会造成石英坩埚外层结晶严重。
2)石墨坩埚由于使用时间长而使其原有厚度氧化和降解,大大变薄。
5.石英坩埚问题
1)石英坩埚用力过猛,底部破损开裂。
2)装载底料时,大块硅撞击石英坩埚底部,造成隐裂纹。
3)坩埚上部装料过多,熔化过程中物料塌陷时坩埚底部容易破裂,造成漏硅。
4)石英坩埚因外界损伤而开裂,在熔化过程中发生破裂。
6)石英坩埚在生产、包装、运输过程中因损坏而造成的隐蔽裂缝。
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2024第二届安徽国际石英产业大会暨展览会。
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