目前,世界上唯一可以制造EUV光刻机的制造商是荷兰的ASML。
芯片进入7nm后,需要使用EUV光刻机,所以这几年,台积电、三星、英特尔等厂商都在尝试从ASML购买EUV光刻机。
谁抢到更多的EUV光刻机,谁的产能就会更高,所以接下来订单的产能基本稳定。
上一个当然是台积电,它显示,自ASML生产EUV光刻机以来,截至2023年底,共出货了230多台EUV光刻机。
在230多台EUV光刻机中,仅台积电就占了50%以上,其他厂商加起来还不到50%,可见台积电的实力有多强。
然而,最近几天情况可能发生了变化,因为ASML最先进的EUV光刻机,用于2nm芯片制造的Twinscan EXE:5200,是由ASML交付给英特尔的,而不是台积电。
这个 exe:5200 和之前的 exe:5000 最大的区别在于数值孔径不同,从 033NA增加到055NA,数值孔径表示系统可以收集和聚焦多少光,数值孔径越大,收集的光越多,分辨率越高。 所以 055Na数值孔径光刻机可用于2nm甚至14nm芯片光刻。
此前,ASML的首席执行官表示,在0在55NA之后,也就是NXE:5200之后,ASML可能无法推出新一代的EUV光刻机,而这项技术已经达到了极限。
这个NXE:5200的**约3亿美元,约合人民币21元5亿元,晶圆加工速度是每小时220片12英寸晶圆,一块晶圆可以切割,其次是500颗左右的2nm芯片,理论上这样的光刻机,一年可以加工上亿个芯片。
ASML交给了英特尔,而不是台积电,有人说很可能是台积电目前不需要它,英特尔更需要它,但我认为这个理由不应该成立,台积电肯定需要它。
很有可能是英特尔背后的美国在施压,毕竟美国现在想要重振芯片制造产业,而英特尔正在提出IDM20计划,要想分一杯羹芯片代工,ASML必须听美国的话,给谁不给谁,ASML不算,美国说了算。
英特尔此前吹嘘将在2024年获得20A工艺,也就是2nm,而台积电要到2025年才能获得2nm,所以英特尔想抢占先机,于是抢到了第一台2nm光刻机。
接下来,台积电要加油了,如果真的在2nm上被英特尔抢占,那么全球芯片代工格局或许被改写。