RTP（快速热处理）炉通常用于半导体制造和其他高温加工工艺。 在这些过程中，氧含量是一个关键参数，因为它会影响材料的性能。 监测RTP快速退火炉中的氧含量通常涉及使用专门的仪器和技术。
MicroX-223 氧气分析仪是一种高精度仪器，专门设计用于测量气体中的氧含量，非常适合监测 RTP 快速退火炉上的氧气含量。 该分析仪将先进技术与可靠的测量原理相结合，可在高温和恶劣的工业环境中提供准确、快速的氧含量数据。
特征：
测量范围：1ppm-25 o2
可靠氧化锆传感器科技。
适用于恶劣环境。
快速响应。 DIN导轨安装。
LCD显示屏和4个多功能按钮。
4-20mA信号输出。
RS-232通信协议。
24VDC电源。
3组继电器报警。
m18x1.5.螺纹工艺接口。
以下是使用 MicroX-223 氧气分析仪监测 RTP 快速退火炉氧气含量的步骤和注意事项：
安装和校准
将 MicroX-223 氧气分析仪安装在 RTP 快速退火炉的适当位置，以确保传感器能够准确接触炉内的气体。
安装前校准分析仪以确保其测量的准确性。 校准通常包括零点校准和量程校准。
集成到控制系统中
MicroX-223 氧分析仪与 RTP 退火炉的控制系统集成在一起，可实时传输和显示氧含量数据。
通过控制系统，可以设置报警阈值，当氧气含量超过或低于预设值时，系统会自动发出报警，以便操作人员及时采取对策。
实时监控和数据记录
在RTP退火炉运行过程中，MicroX-223氧气分析仪实时监测炉内的氧含量，并将数据实时传输到控制系统。
控制系统可以自动记录氧气含量的历史数据，并生成报告或趋势图，以便后续分析和优化工艺参数。
维护和校准
MicroX-223氧气分析仪定期维护和校准，以确保长期稳定运行和测量精度。
根据使用情况和制造商的建议定期更换传感器和耗材。
培训和操作
对操作员进行有关 MicroX-223 氧气分析仪的基础知识、操作方法和维护要求的培训。
操作人员应熟悉控制系统的界面和功能，能够正确解读氧含量数据，并根据需要调整工艺参数。
通过使用MicroX-223氧气分析仪，可以准确、实时地监测RTP快速退火炉的氧气含量，从而确保产品质量和生产安全。 同时，通过对历史数据的分析和处理，可以优化工艺参数，提高生产效率，降低成本。