国产芯片突破:中科院首片300mm RF-SOI晶圆成功。
众所周知,目前的芯片是以硅为基材,即以硅为原料,在硅片上制造,然后通过光刻、蚀刻等技术切割封装在裸片上。
可以说硅片是最重要的材料,但硅片的种类也很多,并不是所有的芯片都使用相同的硅片。
例如,前段时间,中科院上海微系统研究所表示,研究团队制备了中国首片300mm射频(RF)SOI硅片,实现了01 英寸分线。
SOI是SiliconOnInsulator的缩写,是绝缘介质上的硅晶体管结构。
SOI硅片的优点是可以降低漏电流,从而降低功耗,因为硅片的漏电功耗占总功耗的一半,降低漏电流可以大大降低功耗,减少发热。
还有SOI晶圆,可以增加时钟频率,所以这种晶圆一般适用于低功耗、低发热、低功耗、热敏器件,如射频器件、功率器件和硅光子器件。
此前,国内市场不具备制造此类SOI晶圆的能力,全球SOI晶圆市场90%以上被法国SOITEC公司垄断。 在SOI晶圆的制造中,美国是核心和最好的,很多射频芯片,各大代工厂,甚至美国,大部分射频器件代工厂,都是美国的核心。
当然,随着工艺的不断细分,SOI晶圆也分为各种类型,如FD-SOI、RF-SOI、Power-SOI、PHOTONICS-SOI、IMAGER-SOI等。
这些晶圆用于不同的晶圆和不同的领域,而这次中科院只生产了RF-SOI晶圆,但我相信在接下来的后续工作中,我们将能够生产出更多的SOI晶圆。
此外,随着国产SOI晶圆的生产,也将推动SOI晶圆代工等的国产化,要知道目前国产一频芯片的发展相对落后,比如手机用的射频芯片,尤其是5G射频芯片等高端射频芯片,大部分都无法在国内制造,严重依赖进口。
我认为RF-SOI晶圆的引入也将促进射频芯片代工、封装等配套产业的发展,从而减少后续射频芯片对国外的依赖。