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1.上海微电子.
是国内领先的设计和集成光刻机制造商，也是半导体设备领域的龙头企业。
在前端领域，光刻机已经能够满足90、110、280nm的关键层。
在后端领域，光刻机应用于8英寸和12英寸集成电路的先进封装领域，可满足先进封装技术的晶圆级光刻工艺需求，目前已制造出首批2台5D 3D先进封装测试光刻机。
2.华卓景科.
是国内首家自主研发并实现直线电机光刻机双工件工作台商业化生产的企业，上海微电子首家双工作台产品及技术开发业务。
针对国内高端IC前端光刻机的需求，我们推出了DWS和DWSI两大系列双工件工作台，可根据客户定制需求提供技术开发服务和产品。
3.科易宏源.
国内稀缺的具有光刻准分子激光技术研发能力的企业。
业务包括国产自主研发光刻光源产品的销售和技术服务、进口高端光源技术服务、集成电路检测光源、特种高压电源、高端光源核心元器件等产品。 主要产品有DUV（深紫外）光刻光源系列。
4.苏达·维格。
国内领先的微纳结构产品及技术服务制造商。
自主研发的激光直写光刻机和纳米压印光刻机。
在光刻机关键部件方面，上海微电子为半导体领域的投影光刻机提供了定位光栅部件。
5.晶方科技.
是国内领先的专业封装测试制造商，核心技术为晶圆级光学元件技术。 通过子公司收购ASML核心龙头商户之一Anteryoon，布局光刻机相关业务。
Anteryoon是世界领先的光刻机ASML的核心供应商之一。 Anteryon可以将复制技术应用于晶圆级组件，在玻璃或硅晶圆上实现光学结构，堆叠各种晶圆和垫片，并将孔径或电子元件等功能集成到层中，从而实现复杂光学元件的大批量、低成本生产。
6.新来应该是物质的。
针对半导体核心设备，提供真空阀、管件、反应室、气瓶等多种零部件。
先后与AMAT、Ram Research、北方华创、中国微半导体等全球知名半导体设备制造商及国内知名半导体设备制造商合作。
与终端客户合作，如台积电、英特尔、三星、长江存储、惠科等。
7.腾晶科技.
产品主要应用于光通信、光纤激光器等领域。
与光通信领域的Lumentum、Finisar、华为等，光纤激光器领域的睿科激光、NLIGHT等下游企业和科研机构建立了合作关系。
研究项目“分束器项目”的相关产品应用于光刻机的光学系统，是为客户定制的产品开发项目，在光学镀膜的设计制造过程中，应用技术在光学光电精密制造领域深耕多年， 光学精密加工、玻璃非球面成型和光纤器件。进度约为 302%
8.ML光学。
国内领先的精密光学解决方案提供商，产品是光刻机的重要光学元件，覆盖深紫外DUV、可见光和远红外的全光谱。
产品主要包括精密光学器件、光学镜头和光学系统，广泛应用于半导体（包括光刻机和半导体测试设备）、生命科学、航空航天、无人驾驶、生物识别、AR VR检测等领域。
为Camtek、KLA等全球知名半导体测试设备制造商提供半导体测试光模块，并与Camtek、KLA、上海微电子等多家全球领先企业达成长期战略合作伙伴关系。
9.聚焦光。
主要从事高功率半导体激光器元器件及原材料的研发、生产和销售。 光场均质机和广角均质扩散器的生产是光刻机制造中的重要部件。
目前，正在积极拓展光子产业链中游的光子应用模块、模块和子系统业务，重点关注汽车应用、泛半导体工艺、医疗健康等领域。
10.富雄科技.
主要从事非线性光学晶体、激光晶体、精密光学元件和激光器件的研发、生产和销售，同时也为光刻机的生产制造提供重要部件。
KBBF晶体是一种非线性光学晶体，可直接将频率加倍产生EUV激光器，应用于超高光学分辨率光电子能谱仪、光刻技术等前沿领域。
11.富光股份。
主要产品有光学镜头、光学元件、光电仪器、光学电子产品等，特种光学镜头和光电系统广泛应用于光刻机等高端设备。
12.美埃技术。
国内空气净化行业领先供应商。 开发的EFU（自带风扇过滤单元的超薄设备）和ULPA（超高效过滤器）等产品为光刻设备所需的高洁净环境提供了解决方案。
目前拥有国内生产基地7个，海外生产基地1个，生产厂房面积50000多平方米。
13.青亿光电.
生产平板显示器、半导体芯片等行业的掩模。
已量产250nm工艺节点半导体芯片的6英寸和8英寸掩膜板，主要应用于IGBT、MOSFET、碳化硅和MEMS应用。
我们正在开发用于130nm-65nm半导体芯片的掩模工艺开发和用于28nm节点的掩模工艺。
与株洲半导体、三安集成、安康、士兰微电子、泰科天润、上海先进、华微电子、方正微电子、中芯国际、赛威电子、长电科技等国内重点企业建立了深度合作关系。
14.鲁维光电.
国内稀缺可覆盖g25-G11是全代口罩产能的领先供应商。
它已经有 g25-G11全代口罩的产能可以与各代平板显示器厂商相匹配。
实现了180nm及以上工艺节点半导体掩膜的量产，并取得了150nm工艺节点半导体掩模制造的关键核心技术，可满足国内先进半导体封装和半导体器件的应用需求。
15.鑫琪微包装。
是国内直写光刻设备的龙头企业，深耕泛半导体直写光刻设备。
深化与生益电子、盛虹科技、定颖电子、沪电股份等客户的合作，新增鹏鼎控股新客户订单，在柔性板、类基板、阻焊层等细分市场表现良好。
在IC载板领域，MAS6系列最小线宽为6m，载板设备于2024年11月成功销往日本市场。
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