由于存在污染风险,真空和洁净室环境在指定轴承时可能会带来困难。 材料释放蒸汽,这一过程称为脱气。 轴承材料和润滑剂必须仔细选择,以避免此类并发症。
我们指定不锈钢用于真空或洁净室应用,因为不锈钢用于环、球和固定器的释气量低。 我们通常提供开式或屏蔽式不锈钢轴承作为真空轴承,因为它们比丁腈密封轴承具有更少的释气。 丁腈橡胶通常用于真空应用,但如果存在对污染敏感的表面,例如光学元件,则可能会出现问题。
我们的一些轴承可以配备氟橡胶密封件。 虽然氟橡胶密封轴承通常用于耐高温或耐化学性,但氟橡胶也是一种碳氟化合物,因此在真空中性能良好。
塑料轴承在低负载、半精密应用中也表现良好。 这些轴承通常是非润滑的。 它具有低释气特性,使其适合在这些环境中使用。
全陶瓷氮化硅轴承在真空中表现良好。 它们也可以在没有润滑的情况下运行,无需使用真空兼容润滑剂。
在为真空室或洁净室选择轴承润滑剂时必须格外小心,因为大多数润滑脂会蒸发到不可接受的水平,污染环境并阻止润滑脂正常润滑。 特殊的低挥发性全氟润滑脂具有非常低的释气率,在这些条件下表现良好。 这些润滑脂经常用于半导体制造或深空设备等应用。
对于低速,另一种选择是完全无润滑或“干”润滑剂,例如二硫化钼或二硫化钨。 我们可以对轴承的内表面进行处理,以提供非常低的释气润滑膜。
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