在过去的 20 年里，RF MEMS（射频微机电系统）开关一直是机电继电器的替代品。 因此，通过提供易于使用的开关来彻底改变电子系统，该开关可以在几兆赫兹到几千兆赫兹的频率范围内以最小的损耗运行。 RF MEMS开关具有尺寸小、线性度好、插入损耗低、隔离度高、功耗极低等特点，是便携式无线和低功耗电池供电系统的理想选择。
总体而言，RF MEMS开关领域专利申请量的增加反映了人们对技术领域日益增长的兴趣，以及未来几年创新和增长的巨大机会。 随着市场的不断发展，公司必须紧跟最新的技术发展和知识产权趋势，以保持竞争力并利用新的增长机会。
RF-MEMS开关的连接类型可以是电容式的，也可以是金属对金属的。 电容式开关比金属对金属型更好，因为它们能够以更高的频率和功率传输信号。 射频MEMS开关使用微机电结构来控制射频信号的流动。 图中显示了具有独特弹簧设计的RF MEMS并联电容器开关。
通常，该结构由悬挂在固定金属板上的移动金属板或梁组成。 在闭合状态下，由于存在薄的介电层，光束不会粘附在传输线上，并且很容易释放。 当向结构提供电压时，可移动板向固定板滑动，形成一个接触点（导通状态），允许射频信号流过。 当电压关闭时，可移动板返回其初始位置，断开触点，并停止射频通信。
ADI在MEMS领域有着悠久的历史。 ADI ADXL50加速度计于2024年推出，是全球首款成功开发、制造和商业化的MEMS加速度计器件。 2024年，ADI公司推出了首款集成式MEMS陀螺仪ADXRS150。
凭借这些不起眼的开端，ADI公司已经建立了一个规模庞大的MEMS产品行业，并在生产高质量、可靠的MEMS产品方面享有无与伦比的声誉。 对于汽车、工业和消费类应用，ADI公司有超过10亿个惯性传感器可用。 这一传统为推动MEMS开关技术的实现提供了知识和信念。 该ADGM1304是由ADI公司设计的广泛使用的集成式RF MEMS开关。 它专为需要高性能射频开关的应用而设计，包括无线通信、雷达系统、测试和测量设备、航空航天和国防以及医疗设备。
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