新型显示行业应用分析

目前，显示技术的主流应用是：LCD 和 OLED在海泽定律的推动下（即在给定波长的光下，每流明成本每十年降低10倍，每个LED元件发出的光量每十年增加20倍），柔性电子、mini micro LED等新型显示技术的市场规模将在中长期内快速增长。

水蒸气透过率（WVTR）是衡量薄膜耐水性和耐氧性的重要指标，因为显示器件在被水和氧气渗透后非常容易老化变性，导致器件的亮度和使用寿命明显衰减，因此需要使用防水和氧气阻隔材料进行包装保护， 其中可弯曲的柔性OLED显示屏对水蒸气更敏感，其WVTR指数需要达到10-4G MD以下。

其他新型显示技术的WVTR也需要至少小于10-3G MD，以确保在恶劣环境下的可靠性。 考虑到新型显示技术对封装保护的更高要求，ALD薄膜层具有密度高，无针孔，保形性好，绝缘性好，耐水、耐氧柔性OLED等新型显示技术开始使用ALD镀膜来保证其稳定性。

早期LED加工技术对精度的要求无法与集成电路相提并论，对防水蒸汽和抗氧化性也不如OLED严格，但随着芯片尺寸不断缩小的趋势和高功率密度芯片级封装CSP的兴起，ALD技术的优势逐渐体现出来，进入了新型显示行业的视线， ALD技术的市场需求将进一步扩大。