随着洁净室技术的发展,目前我国有两个标准,即国标ISO14644和美国联邦209E,洁净度等级也各不相同。 但是,在使用中,除了实验室和特殊行业外,还有一些不太常用的高等级,而相对低等级的模块化洁净室(净化车间、快装洁净室)被广泛使用,包括ISO5-9级,即209E标准 100级、1000级、1000级、10000级、百万级。事实上,100,000级(ISO 9)也是一个相对较小的清洁度等级,它被一个中级等级,即300,000级所取代。 一般来说,清洁度等级越高,成本越高。
首先是国家标准ISO 5级,即100级模块化洁净室(净化车间),这是应用更广泛、洁净度更高的等级。 气流模式是单向的。
在电子工业中,半导体材料的切割、研磨、抛光、清洗、外延、氧化、扩散、清洗、蚀刻、薄膜、离子注入、CMP、光刻、测试,以及封装、TFT-LCD、HDD的一些工艺也将应用于国标ISO 5级,即100级洁净度。
在食品工业中,在非最终灭菌食品的生产中,切割易腐烂或即食的生食;食物冷却;食品灌装(灌封)、分装、封盖;灌装前液体或食品的加工和配置;对于微生物指标检测,应采用牌号,即国标ISO 5级(100级)模块化洁净室。
此外,在制药行业,国家标准ISO 5(100级)也是应用较为广泛的清洁度等级。
其次,国家标准ISO 6级,即千级模块化洁净室(净化车间),也是更高的洁净度等级。 广泛应用于电子行业、医药等行业。 气流模式是非单向的。
三是国标ISO 7级,即万级模块化洁净室(净化车间)。 这是使用最广泛的清洁度等级之一,用于各种行业。 例如,在食品工业中,在非终端灭菌食品的生产中,应采用与食品直接接触的包装材料的储存和包装材料在不完全密闭状态下的转移。
三是国家标准ISO 8,即10万级模块化洁净室(净化车间)。 这个洁净度等级也被广泛使用,也是一个相对较低的洁净度等级。 例如,在食品工业中,在非终端灭菌食品的生产中,对与食品直接接触的包装材料和器皿进行终端清洗、组装或包装和灭菌在最终灭菌食品的生产中,食品的灌装(或灌装)和包装;污染风险高的食品的配置和加工应采用10万级洁净度等级。
三是国标ISO 9级,即百万级模块化洁净室(净化车间)。 因为这个洁净度等级已经很低了,所以用得比较少,一般用中间的一个洁净度等级代替,也就是30万级。