微滤膜法由深层过滤、筛网过滤和表面过滤三种组成。 深层过滤膜是由纤维和压缩材料编织而成的基质，通过随机吸附和捕获来捕获颗粒。 筛网过滤器的结构基本相同，就像筛子一样，大于孔径的颗粒被困在表面。 该过滤器的孔径非常正确。 另一方面，表面被过滤成多层结构。 当溶液通过过滤器时，大于过滤器内部孔径的颗粒被截留并主要积聚在过滤器表面。
由于这三种过滤器的功能不同，因此区分它们非常重要。 深度过滤是一种更经济的方法，可以去除98%以上的悬浮物，同时，为了保护下游净化单元不被腐败和堵塞，通常将其视为预过滤处理（实验室超纯水机预处理PP过滤是深度过滤）。 表面过滤能够去除 99悬浮固体含量超过99%，因此也可用于预过滤处理和澄清。
微孔膜（网状过滤器）通常放置在纯化系统的最终使用点，以去除最后剩余的痕量树脂碎片、碳屑、胶体颗粒和微生物。 例如，022m 微过滤器可过滤所有细菌，通常用于对静脉注射的液体、血清和抗生素进行消毒。
超滤是与膜孔径大小有关的筛分过程，以膜两侧的压力差为驱动力，以超滤膜为过滤介质，当储备溶液在一定压力下通过膜表面时，超滤膜表面致密的大量微孔仅通过水和小分子物质作为渗透物， 储备液中的体积大于膜表面的微孔直径，超滤膜是一种坚固、薄而选择性的透气膜，微孔的物理孔径大致为0001—0.1m，可以阻挡一定尺寸以上的大部分分子，包括胶体、微生物和热源。 小分子，如水和离子，通过过滤器。
紫外线是一种不可见的光波，存在于光谱的紫外线端的外部，因此得名紫外线。 按波长范围分为A、B、C三个波段，其中C波段的紫外波长在240-260nm之间。 紫外线杀菌的原理被认为是生物体内的核酸吸收紫外线的能量而改变自身结构，破坏核酸的功能。 核酸吸收的能量达到致死量，在紫外线照射下维持一定时间后，会大量细菌死亡。 随着紫外灯制造技术的进步，可以制造出同时产生185nm和254nm波长的紫外灯。 这种光波长的组合可以用光氧化有机化合物，将超纯水中的总有机碳浓度降低到5 ppb以下。